Бюллетень "Новости науки" физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.

Всероссийская школа-семинар Волновые Явления в Неоднородных Средах

XV Всероссийская школа-семинар "Физика и применение микроволн" имени профессора А.П. Сухорукова

Отобранные программным комитетом статьи участников школы-семинара «Волны-2015» будут направлены для публикации в журнал «Ученые записки физического факультета Московского университета».

Журналы » Ученые Записки » Выпуски » 2014 » № 5

Загрузить файл: 145335.pdf ( 1757 kB )

Акустическая микроскопия многослойных кристаллов микроэлектроники

Ю.С. Петронюк, Е.С. Мороков, В.М. Левин, В.И. Зеленов

ФГБУН "Научно-технологический центр уникального приборостроения РАН". Россия, 117342, Москва, ул. Бутлерова, д. 15

Показано, что методами импульсной акустической микроскопии, можно обнаруживать скрытые дефекты при производстве многослойных кристаллических чипов в процессе постепенного наращивания системы микрокристаллов. Предложенные методы позволяют выявлять дефекты адгезии, на границе между кристаллами, дефекты ультразвуковой пайки контактов, распределение и деформацию теплоотводящего слоя (полиимидной сетки), скрытые внутренние трещины кристаллов. Рабочая частота 50-100 МГц позволяет уверенно выполнять акустическую визуализацию с разрешением 30-50 мкм на глубине двух кристаллических слоев (2690 мкм). Отображение структуры на большей глубине затруднительно из-за сильного преломления в кремнии наклонных компонент зондирующего фокусированного пучка, а также из-за многочисленных элементов внутренней структуры, образующих тень на изображениях нижерасположенных слоев.

URL:	http://uzmu.phys.sunmarket.com/abstract/2014/5/145335
PACS:	43.35.Zc Use of ultrasonics in nondestructive testing, industrial processes, and industrial products
УДК:	534-8
Цитата:	Ю.С. Петронюк, Е.С. Мороков, В.М. Левин, В.И. Зеленов. Акустическая микроскопия многослойных кристаллов микроэлектроники // Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2014. № 5. 145335