Бюллетень "Новости науки" физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.

Всероссийская школа-семинар Волновые Явления в Неоднородных Средах

XV Всероссийская школа-семинар "Физика и применение микроволн" имени профессора А.П. Сухорукова

Отобранные программным комитетом статьи участников школы-семинара «Волны-2015» будут направлены для публикации в журнал «Ученые записки физического факультета Московского университета».

Журналы » Ученые Записки » Выпуски » 2014 » № 5

Загрузить файл: 145327.pdf ( 428 kB )

Разработка бесконтактного метода измерения проводимости тонких пленок

Б.Д. Зайцев, А.М. Шихабудинов, А.А. Теплых, И.Е. Кузнецова

Зеленая улица, Д. 38, Саратов, 410019

Экспериментально показана возможность измерения поверхностной проводимости тонких проводящих пленок при помощи линии задержки с на основе пластины Y-X ниобата лития, в которой распространялась акустическая волна с поперечно-горизонтальной поляризацией нулевого порядка (SH0). Указанная линия задержки, включающая два встречно-штыревых преобразователя (ВШП), подключалась к измерителю S – параметров типа E5071C, который позволял измерять полные потери и фазу выходного сигнала. Было установлено, что при расположении над поверхностью линии задержки между ВШП диэлектрической пластины с тонкой проводящей пленкой полные потери и фаза выходного сигнала меняются, причем степень изменения уменьшается с ростом зазора между ними. В качестве исследуемых проводящих пленок использовались тонкие пленки хрома и алюминия. Проводимость получаемых проводящих пленок менялась в пределах 1 – 10-6 С и определялась при помощи модернизированного четырехзондового метода. На основе экспериментальных данных была построена калибровочная зависимость разности фаз выходного сигнала от поверхностной проводимости пленки при величине зазора между стеклянной пластинкой и звукопроводом порядка 100 мкм. Калибровочная зависимость оказалась близкой к линейной с наклоном порядка 120 град/С. Рассмотренный метод может найти применение для измерения проводимости таких пленок, контакты к которым невозможно изготовить или эти контакты могут существенно повлиять на проводимость пленки.

URL:	http://uzmu.phys.sunmarket.com/abstract/2014/5/145327
PACS:	43.20.+g General linear acoustics
УДК:	534.21
Цитата:	Б.Д. Зайцев, А.М. Шихабудинов, А.А. Теплых, И.Е. Кузнецова. Разработка бесконтактного метода измерения проводимости тонких пленок // Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2014. № 5. 145327