Бюллетень "Новости науки" физфака МГУ

Это новое информационное издание, целью которого является донести до сотрудников, студентов и аспирантов, коллег и партнеров факультета основные достижения ученых и информацию о научных событиях в жизни университетских физиков.

Всероссийская школа-семинар Волновые Явления в Неоднородных Средах

XV Всероссийская школа-семинар "Физика и применение микроволн" имени профессора А.П. Сухорукова

Отобранные программным комитетом статьи участников школы-семинара «Волны-2015» будут направлены для публикации в журнал «Ученые записки физического факультета Московского университета».

Журналы » Ученые Записки » Выпуски » 2014 » № 2

Загрузить файл: 142502.pdf ( 1120 kB )

Безмасочное структурирование поверхности кремниевых подложек для нитридной эпитаксии

М.Г. Мынбаева, С.П. Лебедев, А.А. Лаврентьев, К.Д. Мынбаев, В.И. Николаев

Федеральное государственное бюджетное учреждение науки Физико–технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН. Россия, 194021, Санкт–Петербург, Политехническая ул., д. 26

В работе сообщается о наблюдении эффекта само–организованного структурирования поверхности кремниевых пластин в специфических условиях отжигов. Данный эффект может быть использован для создания новых безмасочных способов формирования структурированных кремниевых подложек, перспективных для использования в технологии светодиодов на основе нитрида галлия и его твердых растворов.

URL:	http://uzmu.phys.sunmarket.com/abstract/2014/2/142502
PACS:	81.05.Ea III-V semiconductors 81.15.Kk Vapor phase epitaxy; growth from vapor phase 81.05.Cy Elemental semiconductors
УДК:	53.043
Цитата:	М.Г. Мынбаева, С.П. Лебедев, А.А. Лаврентьев, К.Д. Мынбаев, В.И. Николаев. Безмасочное структурирование поверхности кремниевых подложек для нитридной эпитаксии // Учен. зап. физ. фак-та Моск. ун-та. 2014. № 2. 142502